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Unsere Ausstattungsvarianten

    • 4, 6, 8, 10, 12 Verdampfungstiegel
    • Rückseiten Kalottenheizung
    • Quarz-Frontseitenheizung 2 kW, 4 kW, 6 kW, 8 kW
    • CARRERA 5 kW, 6 kW, 10 kW, 12 kW Hochspannung
    • Verschiedene Pumpsysteme (trocken, Turbo)
    • E-Strahl-Quelle
    • EV1-40, EV1-100, EV M6, EV M8, EV M9, EV M10
    • Kalottenträger
    • Kalottensegmente
    • Glimmentladung
    • Ionenquelle Typ I & II
    • Knudsen-Planetenantrieb
    • Universell einsetzbarer Planetenantrieb
    • Optisches Überwachungssystem (auf Anfrage)
    • Netzteil
    • Reaktivgaseinlass mit Druck- oder Durchflussregelung
    • HF-Plasmaquelle (auf Anfrage)
    • Einnapftiegel in verschiedenen Größen
    • Sputterquellen (auf Anfrage)
    • Thermische Verdampfer
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